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全自動(dòng)探針臺(tái)是晶圓制造到封裝成型中芯片性能測(cè)試的重要設(shè)備，占據(jù)半導(dǎo)體制造流程的一半以上。其中，最核心的視覺定位系統(tǒng)直接決定探針臺(tái)的對(duì)針精度、測(cè)量速度以及整機(jī)性能，視覺定位系統(tǒng)包含晶圓相機(jī)、探針相機(jī)、圖像處理算法等關(guān)鍵模塊。